真空釬焊爐是熱處理的大型設備，能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序，能控制和編入上百個熱處理曲線點，分上、下、左右、前后六區控溫，有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置，爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內，另配有高純氮高流量強冷裝置。

　　設備真空系(xi)統(tong)主(zhu)要(yao)(yao)由(you)真空室(shi)、泵(beng)(beng)(beng)系(xi)統(tong)和各控(kong)(kong)制閥及熱交(jiao)換器組成。其中泵(beng)(beng)(beng)系(xi)統(tong)由(you)機械泵(beng)(beng)(beng)、維(wei)持泵(beng)(beng)(beng)、羅茨泵(beng)(beng)(beng)、擴(kuo)散泵(beng)(beng)(beng)等構成。閥門包括前級閥（碟(die)(die)閥）、旁路閥（碟(die)(die)閥）、維(wei)持泵(beng)(beng)(beng)閥（碟(die)(die)閥）和高(gao)閥（板閥）組成，各閥門均為氣(qi)(qi)動閥，由(you)PLC控(kong)(kong)制氣(qi)(qi)動閥進行控(kong)(kong)制。加熱室(shi)主(zhu)要(yao)(yao)由(you)不銹鋼(gang)加熱室(shi)殼體、不銹鋼(gang)反射屏(ping)、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床(chuang)等組成。

　　真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)釬焊(han)爐運行(xing)(xing)時(shi)，首先啟動機械泵、維持泵和擴散(san)泵（加熱(re)），同時(shi)打(da)(da)開(kai)前級(ji)閥(fa)和維持泵閥(fa)，對(dui)擴散(san)泵內進(jin)行(xing)(xing)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)。當真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度達(da)到系統(tong)某(mou)一(yi)設定(ding)值時(shi)，羅茨泵啟動，同時(shi)旁路閥(fa)打(da)(da)開(kai)，前級(ji)閥(fa)關閉(bi)，此時(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)室進(jin)行(xing)(xing)抽(chou)低真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)當擴散(san)泵加熱(re)至規(gui)定(ding)溫度并(bing)且真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度高(gao)于規(gui)定(ding)值時(shi)，高(gao)閥(fa)打(da)(da)開(kai)，旁路閥(fa)關閉(bi)，前級(ji)閥(fa)打(da)(da)開(kai)。此時(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)室抽(chou)高(gao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，達(da)到工(gong)(gong)藝要求的真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度以后，方可進(jin)行(xing)(xing)熱(re)處理工(gong)(gong)作。熱(re)加工(gong)(gong)過程完成后，由熱(re)交換器對(dui)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)室充入高(gao)純氮氣進(jin)行(xing)(xing)強制冷(leng)卻(que)，完成整個工(gong)(gong)藝過程。