真空釬焊爐是熱處理的大型設備，能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序，能控制和編入上百個熱處理曲線點，分上、下、左右、前后六區控溫，有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置，爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內，另配有高純氮高流量強冷裝置。

　　設備真空(kong)系統主(zhu)要由(you)真空(kong)室、泵(beng)系統和各控制閥(fa)及熱交換器組成(cheng)。其中泵(beng)系統由(you)機械泵(beng)、維(wei)持泵(beng)、羅茨(ci)泵(beng)、擴散泵(beng)等(deng)構(gou)成(cheng)。閥(fa)門(men)包括前(qian)級(ji)閥(fa)（碟(die)閥(fa)）、旁路(lu)閥(fa)（碟(die)閥(fa)）、維(wei)持泵(beng)閥(fa)（碟(die)閥(fa)）和高(gao)閥(fa)（板(ban)閥(fa)）組成(cheng)，各閥(fa)門(men)均為氣動閥(fa)，由(you)PLC控制氣動閥(fa)進行控制。加熱室主(zhu)要由(you)不銹(xiu)鋼加熱室殼(ke)體、不銹(xiu)鋼反射屏、加熱器、陶(tao)瓷(ci)絕(jue)緣件(jian)、水冷電極、爐床等(deng)組成(cheng)。

　　真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)釬(han)焊爐運行(xing)(xing)時(shi)，首(shou)先啟動機(ji)械(xie)泵(beng)、維(wei)持(chi)泵(beng)和擴散泵(beng)（加(jia)(jia)熱），同時(shi)打(da)(da)開(kai)前級(ji)閥(fa)(fa)(fa)和維(wei)持(chi)泵(beng)閥(fa)(fa)(fa)，對(dui)擴散泵(beng)內進(jin)行(xing)(xing)抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。當真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)達(da)到(dao)系(xi)統某一設定值(zhi)時(shi)，羅(luo)茨泵(beng)啟動，同時(shi)旁路(lu)閥(fa)(fa)(fa)打(da)(da)開(kai)，前級(ji)閥(fa)(fa)(fa)關閉，此時(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室進(jin)行(xing)(xing)抽低真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)當擴散泵(beng)加(jia)(jia)熱至規(gui)定溫(wen)度(du)并且真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)高于規(gui)定值(zhi)時(shi)，高閥(fa)(fa)(fa)打(da)(da)開(kai)，旁路(lu)閥(fa)(fa)(fa)關閉，前級(ji)閥(fa)(fa)(fa)打(da)(da)開(kai)。此時(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室抽高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，達(da)到(dao)工(gong)藝要求的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)以后，方可(ke)進(jin)行(xing)(xing)熱處理(li)工(gong)作(zuo)。熱加(jia)(jia)工(gong)過(guo)(guo)程(cheng)完(wan)(wan)成后，由熱交換器對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室充入(ru)高純氮氣進(jin)行(xing)(xing)強制冷卻，完(wan)(wan)成整(zheng)個工(gong)藝過(guo)(guo)程(cheng)。