真空釬焊爐是熱處理的大型設備，能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序，能控制和編入上百個熱處理曲線點，分上、下、左右、前后六區控溫，有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置，爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內，另配有高純氮高流量強冷裝置。

　　設備真(zhen)空(kong)系(xi)(xi)(xi)統主(zhu)要(yao)由(you)(you)(you)真(zhen)空(kong)室、泵(beng)(beng)(beng)系(xi)(xi)(xi)統和(he)(he)各(ge)控(kong)制閥(fa)(fa)(fa)及熱(re)交換(huan)器組成。其中泵(beng)(beng)(beng)系(xi)(xi)(xi)統由(you)(you)(you)機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)、維(wei)持(chi)泵(beng)(beng)(beng)、羅茨泵(beng)(beng)(beng)、擴散泵(beng)(beng)(beng)等構成。閥(fa)(fa)(fa)門包括前級(ji)閥(fa)(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)(fa)）、旁路閥(fa)(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)(fa)）、維(wei)持(chi)泵(beng)(beng)(beng)閥(fa)(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)(fa)）和(he)(he)高閥(fa)(fa)(fa)（板閥(fa)(fa)(fa)）組成，各(ge)閥(fa)(fa)(fa)門均為(wei)氣(qi)動閥(fa)(fa)(fa)，由(you)(you)(you)PLC控(kong)制氣(qi)動閥(fa)(fa)(fa)進行控(kong)制。加(jia)熱(re)室主(zhu)要(yao)由(you)(you)(you)不(bu)銹鋼加(jia)熱(re)室殼體、不(bu)銹鋼反射屏、加(jia)熱(re)器、陶(tao)瓷絕(jue)緣件、水冷電極、爐床等組成。

　　真(zhen)(zhen)空(kong)釬焊爐運行(xing)(xing)(xing)時(shi)(shi)，首先(xian)啟(qi)動機械(xie)泵(beng)、維持泵(beng)和擴散泵(beng)（加熱(re)），同(tong)時(shi)(shi)打(da)開前級閥(fa)(fa)和維持泵(beng)閥(fa)(fa)，對(dui)擴散泵(beng)內進(jin)行(xing)(xing)(xing)抽真(zhen)(zhen)空(kong)。當(dang)真(zhen)(zhen)空(kong)度達到系統某一(yi)設定(ding)值(zhi)時(shi)(shi)，羅茨泵(beng)啟(qi)動，同(tong)時(shi)(shi)旁路閥(fa)(fa)打(da)開，前級閥(fa)(fa)關(guan)閉，此(ci)時(shi)(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)進(jin)行(xing)(xing)(xing)抽低(di)真(zhen)(zhen)空(kong)當(dang)擴散泵(beng)加熱(re)至規(gui)定(ding)溫度并(bing)且真(zhen)(zhen)空(kong)度高于規(gui)定(ding)值(zhi)時(shi)(shi)，高閥(fa)(fa)打(da)開，旁路閥(fa)(fa)關(guan)閉，前級閥(fa)(fa)打(da)開。此(ci)時(shi)(shi)對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)抽高真(zhen)(zhen)空(kong)，達到工藝(yi)要求(qiu)的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)度以后，方(fang)可進(jin)行(xing)(xing)(xing)熱(re)處理(li)工作。熱(re)加工過(guo)(guo)程完(wan)成(cheng)后，由熱(re)交換器對(dui)真(zhen)(zhen)空(kong)室(shi)(shi)充入高純(chun)氮氣進(jin)行(xing)(xing)(xing)強(qiang)制冷卻，完(wan)成(cheng)整個工藝(yi)過(guo)(guo)程。