真空釬焊爐是熱處理的大型設備，能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序，能控制和編入上百個熱處理曲線點，分上、下、左右、前后六區控溫，有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置，爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內，另配有高純氮高流量強冷裝置。

　　設備真空系統主要由真空室、泵(beng)系統和各控制閥(fa)(fa)及(ji)熱(re)交換器組成。其中(zhong)泵(beng)系統由機械泵(beng)、維持泵(beng)、羅茨泵(beng)、擴散泵(beng)等(deng)構成。閥(fa)(fa)門包括(kuo)前級閥(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)）、旁路閥(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)）、維持泵(beng)閥(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)）和高閥(fa)(fa)（板閥(fa)(fa)）組成，各閥(fa)(fa)門均為(wei)氣(qi)動(dong)閥(fa)(fa)，由PLC控制氣(qi)動(dong)閥(fa)(fa)進行控制。加熱(re)室主要由不(bu)(bu)銹鋼加熱(re)室殼體、不(bu)(bu)銹鋼反(fan)射屏、加熱(re)器、陶(tao)瓷(ci)絕(jue)緣件(jian)、水(shui)冷電極(ji)、爐床等(deng)組成。

　　真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)釬焊爐運行(xing)時(shi)(shi)(shi)，首先啟動機(ji)械泵(beng)(beng)、維持泵(beng)(beng)和擴散(san)泵(beng)(beng)（加熱），同(tong)(tong)時(shi)(shi)(shi)打開(kai)(kai)前級(ji)閥(fa)(fa)和維持泵(beng)(beng)閥(fa)(fa)，對擴散(san)泵(beng)(beng)內進(jin)行(xing)抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。當真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)達到系統(tong)某一設定(ding)值時(shi)(shi)(shi)，羅茨泵(beng)(beng)啟動，同(tong)(tong)時(shi)(shi)(shi)旁路閥(fa)(fa)打開(kai)(kai)，前級(ji)閥(fa)(fa)關閉，此時(shi)(shi)(shi)對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)進(jin)行(xing)抽低真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)當擴散(san)泵(beng)(beng)加熱至規定(ding)溫度(du)并(bing)且真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)高(gao)于規定(ding)值時(shi)(shi)(shi)，高(gao)閥(fa)(fa)打開(kai)(kai)，旁路閥(fa)(fa)關閉，前級(ji)閥(fa)(fa)打開(kai)(kai)。此時(shi)(shi)(shi)對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)抽高(gao)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)，達到工(gong)藝要求的(de)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度(du)以后，方可進(jin)行(xing)熱處(chu)理工(gong)作。熱加工(gong)過(guo)程完成后，由熱交換器(qi)對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)充入(ru)高(gao)純氮氣進(jin)行(xing)強制(zhi)冷卻，完成整個工(gong)藝過(guo)程。