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真空釬焊爐是熱處理的大型設備,能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序,能控制和編入上百個熱處理曲線點,分上、下、左右、前后六區控溫,有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置,爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內,另配有高純氮高流量強冷裝置。
設備真空(kong)系(xi)統主要(yao)由真空(kong)室(shi)、泵系(xi)統和(he)各(ge)控制(zhi)閥(fa)(fa)(fa)(fa)及(ji)熱交換器(qi)組成。其中(zhong)泵系(xi)統由機械泵、維(wei)持泵、羅茨(ci)泵、擴散(san)泵等構成。閥(fa)(fa)(fa)(fa)門包括前級閥(fa)(fa)(fa)(fa)(碟閥(fa)(fa)(fa)(fa))、旁路閥(fa)(fa)(fa)(fa)(碟閥(fa)(fa)(fa)(fa))、維(wei)持泵閥(fa)(fa)(fa)(fa)(碟閥(fa)(fa)(fa)(fa))和(he)高閥(fa)(fa)(fa)(fa)(板(ban)閥(fa)(fa)(fa)(fa))組成,各(ge)閥(fa)(fa)(fa)(fa)門均(jun)為氣(qi)動閥(fa)(fa)(fa)(fa),由PLC控制(zhi)氣(qi)動閥(fa)(fa)(fa)(fa)進(jin)行控制(zhi)。加(jia)(jia)熱室(shi)主要(yao)由不銹鋼(gang)加(jia)(jia)熱室(shi)殼體、不銹鋼(gang)反射屏、加(jia)(jia)熱器(qi)、陶瓷絕緣件、水冷電(dian)極、爐床(chuang)等組成。
真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)釬焊(han)爐運行(xing)時,首先啟動機(ji)械泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)、維持(chi)(chi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)和擴散泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)(加熱(re)),同時打(da)開(kai)前級閥(fa)和維持(chi)(chi)泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)閥(fa),對擴散泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)內進行(xing)抽真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)。當真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度達到(dao)系(xi)統(tong)某一設定(ding)值時,羅茨泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)啟動,同時旁(pang)路閥(fa)打(da)開(kai),前級閥(fa)關(guan)閉(bi)(bi),此時對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)進行(xing)抽低真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)當擴散泵(beng)(beng)(beng)(beng)(beng)加熱(re)至規(gui)定(ding)溫度并且真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度高于規(gui)定(ding)值時,高閥(fa)打(da)開(kai),旁(pang)路閥(fa)關(guan)閉(bi)(bi),前級閥(fa)打(da)開(kai)。此時對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)抽高真(zhen)(zhen)空(kong)(kong),達到(dao)工(gong)藝要求的真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)度以后(hou),方可進行(xing)熱(re)處理工(gong)作。熱(re)加工(gong)過(guo)(guo)程完(wan)成后(hou),由熱(re)交換器對真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)室(shi)充入高純氮氣進行(xing)強制冷卻,完(wan)成整個工(gong)藝過(guo)(guo)程。