真空釬焊爐是熱處理的大型設備，能夠進行真空釬焊、真空退火、真空時效等多種加工。可編多個不同程序，能控制和編入上百個熱處理曲線點，分上、下、左右、前后六區控溫，有多點和單點溫度記錄儀以及過溫保護裝置，爐溫均勻性可控制在恒定溫度范圍以內，另配有高純氮高流量強冷裝置。

　　設備(bei)真空系統(tong)主要(yao)由真空室、泵系統(tong)和各控(kong)制閥(fa)(fa)及(ji)熱交換器組(zu)成(cheng)。其中(zhong)泵系統(tong)由機械泵、維持泵、羅茨(ci)泵、擴散泵等構(gou)成(cheng)。閥(fa)(fa)門(men)包(bao)括前級閥(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)）、旁路閥(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)）、維持泵閥(fa)(fa)（碟(die)閥(fa)(fa)）和高閥(fa)(fa)（板閥(fa)(fa)）組(zu)成(cheng)，各閥(fa)(fa)門(men)均為氣(qi)動閥(fa)(fa)，由PLC控(kong)制氣(qi)動閥(fa)(fa)進行(xing)控(kong)制。加(jia)(jia)熱室主要(yao)由不(bu)銹鋼(gang)加(jia)(jia)熱室殼體、不(bu)銹鋼(gang)反射屏、加(jia)(jia)熱器、陶瓷絕(jue)緣件(jian)、水冷電(dian)極、爐(lu)床等組(zu)成(cheng)。

　　真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)釬(han)焊爐運(yun)行(xing)(xing)時(shi)，首先(xian)啟動(dong)機械泵(beng)、維持泵(beng)和(he)擴散泵(beng)（加熱(re)），同時(shi)打(da)開(kai)(kai)前(qian)級(ji)閥(fa)(fa)和(he)維持泵(beng)閥(fa)(fa)，對(dui)擴散泵(beng)內進(jin)(jin)行(xing)(xing)抽(chou)(chou)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)。當真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)(du)達(da)到(dao)系(xi)統某一設定(ding)(ding)值時(shi)，羅茨泵(beng)啟動(dong)，同時(shi)旁路(lu)閥(fa)(fa)打(da)開(kai)(kai)，前(qian)級(ji)閥(fa)(fa)關(guan)閉(bi)，此時(shi)對(dui)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)室(shi)(shi)進(jin)(jin)行(xing)(xing)抽(chou)(chou)低真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)當擴散泵(beng)加熱(re)至規(gui)定(ding)(ding)溫度(du)(du)(du)并且真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)(du)高于規(gui)定(ding)(ding)值時(shi)，高閥(fa)(fa)打(da)開(kai)(kai)，旁路(lu)閥(fa)(fa)關(guan)閉(bi)，前(qian)級(ji)閥(fa)(fa)打(da)開(kai)(kai)。此時(shi)對(dui)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)室(shi)(shi)抽(chou)(chou)高真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)，達(da)到(dao)工藝要求的(de)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)(du)以后，方可進(jin)(jin)行(xing)(xing)熱(re)處理工作。熱(re)加工過程(cheng)完成后，由熱(re)交換器對(dui)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)室(shi)(shi)充入高純氮氣進(jin)(jin)行(xing)(xing)強(qiang)制冷卻，完成整個工藝過程(cheng)。